サイクル(Cycle)微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15
微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15
Cycle社(ドイツ ハンブルク)製「SOPRANO 15」は、多種多様の用途に適応できる最新のフェムト秒レーザーであり、特にシリコン加工用など微細加工用の光源として優れている。低価格での提供を実現していることも見逃せない。
「SOPRANO 15」は、産業用途や科学用途などで要求される厳しい動作環境でも優れた耐久性を実現できるように設計されており、24時間連続稼働にも耐えうる高い信頼性をも有している。生体材料工学(BiomedicalMaterials Science)分野の専門家らと密接に連携を図って開発された独自の光源により、複雑なシステムを高性能かつ低価格でユーザーへ提供することに成功した。
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主な特長
- 対応波長:1560nm
- パルスエネルギー:最大5μJ
- 繰り返し周波数:1MHz~30MHz(固定)
※オプションで可変繰り返し周波数にも対応 - パルス幅:300fs未満
レーザーについて他に必要な情報がございましたら、弊社へお問い合わせください。
経験豊富なレーザー専門の技術者が、お客様のご要望に応じた最適なレーザー製品をご提案させていただきます。
また弊社ではお客様のレーザー仕様に基づいたカスタマイズ設計も承っております。
暫定的な各パラメーター仕様 | レーザー詳細 | 備考 |
---|---|---|
中心波長 | 1560nm | オプションで780nm発振にも対応 |
パルス幅 | 300fs未満 | オプションで、より短パルス化も可能 |
平均出力 | 5W | |
パルスエネルギー | 最大5μJ | 繰り返し周波数に依存 |
ピークパワー | 50MW | @1MHz |
パルス繰り返し周波数 | 30MHz | オプションで1MHzまで下げることも可能 |
スペクトル帯域幅 | フーリエ変換限界 | τρ・Δν~0.35 |
ビーム品質 | M2値(ビーム集光性) < 1.2TEM00 | |
偏光消光比 | > 20 dB | |
ビーム出力 | 自由空間へのコリメート光出力 |
機械的仕様
ヘッド寸法 (長さX幅X高さ) |
800x450x300mm3 | オプションでカスタマイズ可能 |
---|---|---|
ヘッド重量 | 10kg | |
コントローラ寸法 | 横幅:19インチ(482.6mm)、 高さ:3U(5.25インチ/133.35mm)ラック型 |
|
コントローラ重 | 10kg |
電気的仕様
入力電圧 電源周波数 |
100~240VAC 50~60Hz |
|
---|---|---|
消費電力 | < 300W |
上記以外の仕様に関するご質問については、弊社へお問い合わせください。
オプション&アクセサリー
- パルスピッカー装置
(繰り返し周波数をシングルショットまで下げることが可能) - パルスエネルギー:最大5μJ @1MHz
- パルス幅可変
- バーストモード
- SHG波長変換 (第2高調波発生) モジュール
サイクル(Cycle)微細加工用フェムト秒レーザー SOPRANO 15のテクニカルノート
アプリケーション
- センシング (光の検知 ・ 感知)
- 分光法
- 半導体素子の欠陥検査
- 光パラメトリック発振器/光パラメトリック発振器用の励起光源
- 微細加工(シリコン加工など)
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