レーザー干渉法

図1;マイケルソン干渉計でみられた干渉縞
(He-Neレーザー633nm)

干渉法では、様々な干渉現象を利用して、用途に沿った測定を行います。例えば、PV値(面精度・反射波面精度)の測定があげられます。干渉計の種類は多岐にわたりますが、基本的な原理は同じです。単色光は単一光源から発せられ、2つ・もしくはそれ以上の平面鏡は異なる波長の光を分離させるのに用いられます。この分割された光線を(反射させ)再び合流させることで、干渉縞を生み出します(光波が干渉し合います)。干渉縞を生じさせるには、高い可干渉性をもつレーザー光線が必要です。可干渉性の高いレーザーであればあるほど、あるいは可干渉距離(コヒーレント長という)が長ければ長いほど、干渉計を用いてより詳細な観測結果を得ることができます。

Azur Light社製ファイバーレーザー、Cobolt社製DPSSレーザー及びLaser Quantum社製Torusは、単一縦モードで発振しますが、特にAzur Light社製IRレーザーでは200m超の可干渉距離を有しますので、ハイレベルの干渉応用にご使用いただけます。

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