干渉法と干渉計の基礎

2023年 11月13日

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正確な物理測定を行うための干渉計の例として、レーザーからの単色コヒーレント光のビームを2つの部分に分割し、ビームを少し反射させてから、スクリーン、光学ビューア、またはセンサーアレイで再結合します。ビームは、それらの間の正味の経路長の差に応じて、ポイントごとに互いに建設的または破壊的に干渉します。これにより、明るい縞模様と暗い縞模様のパターンが生成されます。ビームの1つが、位置を非常に正確に監視する必要があるもの (多軸工作機械など) に取り付けられたミラーまたはコーナーリフレクターから反射した場合、その移動に応じてパターンが変化します。縞の通過をカウントすると、数ナノメートルの精度で測定を行うことができます。

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