AP-03-16 HPAgilentKeysight社製5517チューブとArduino社製キットを使用した安定化ゼーマン (Pacific Lasertec社)
2025年 07月10日
2周波数ゼーマン分離HeNeレーザーは、半導体ウェハー製造のステージ位置決めなどの用途で使用される、多くの高精度干渉計ベースの計測システムの主要コンポーネントです。簡単に言うと、軸方向の磁場を短いランダム偏光HeNeレーザーチューブに適用すると、縦モードが右円偏光成分と左円偏光成分に分離され、光周波数の差は最大数MHzになります。干渉計を構築する場合、差信号F2-F1があると、ノイズ耐性とレーザーの経年劣化に伴う定期的な調整の排除という点で、単一周波数レーザーよりも有利になります。
