AP-03-14 再生されたHewlett PackardAgilent社製測距レーザーを評価する際の考慮事項 (Pacific Lasertec社)

2025年 07月03日

Agilent社(旧Hewlett Packard社)は、おそらく2周波数HeNe計測レーザーの大手サプライヤーです。精密製造のあらゆる分野で使用されています。最もよく知られている用途は、おそらく半導体ウェハーステッパーのサブミクロンの位置決めです。これらのレーザーは一般に長寿命(通常50,000時間)ですが、故障した場合は、比較的高額(9,000ドル以上)で新しいレーザーに交換するか、中古の類似レーザー(多少のリスクあり)と交換するしか選択肢がありませんでした。ただし、大幅にコストを下げて再構築サービスを提供していると主張する企業もいくつかあります。このノートでは、再構築されたレーザーで発生する可能性のある問題と、それが測定精度と耐用年数に与える影響について説明します。

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