AP-03-09 微細な変位変化の計測 (Pacific Lasertec社)
2025年 06月11日
µMD1の補間ファームウェア（前項参照）の開発中は、ナノメートルスケールの動きを検出する必要がありました。通常のテストセットアップの安定性は全く不十分でした。リモートデスクトップで画面を監視しながら、2階上のコンピューターテーブルをタップするといった外乱さえも、変位の変動として検出されてしまいました。さらに、干渉計付近に設置されたラップトップのファンの振動によって、測定中の変化がかき消されてしまいました。
