これらすべてのシステムの核となるのは干渉計です。最もよく使用される3つの構成は、最も一般的なHewlettPackard/Agilent干渉計に示されています。(この図は、F1(低い光周波数)が水平に向いている5517などの2周波数レーザーに直接適用されます。F2(高い光周波数)が5501A/Bのように水平に向いている場合は、図のF1とF2を入れ替えるだけです。)個々のコンポーネントは、光学的にも機能的にも同等のさまざまな組み合わせが可能です。共通のプラットフォームにマウントされた複数の干渉計の組み合わせも、コンパクトな多軸アプリケーションに使用できます。HPが「干渉計」と呼ぶものは、各図の中央にあるすべてのコンポーネント、つまり偏光ビームスプリッター(PBS)、1つまたは2つの再帰レトロリフレクター(RR)、0、1、または2つの1/4波長板(QWP)、0または1つの平面ミラー(PM)で構成されます。また、位置を計測する「ツール」にはRRまたはPMがあり、戻りビーム用の光レシーバー(OR)もあります。2周波数レーザー(TWL)は、非偏光ビームスプリッターと45度ミラー(「ビームベンダー」ですが、すべてのビーム方向は元のTFLに対して90度の倍数である必要があります)を使用してビームを分散することにより、マシンのすべての軸で共有できます。