AP-03-06-1 二周波数レーザーを使用する干渉計用の光学部品 (Pacific Lasertec社)
2025年 05月08日
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以下では、位置(より正確には、位置の変位または変化)または速度(位置の変化率)の測定のためにHewlett Packard(当時はAgilent、現在はKeysight)が供給しているさまざまなタイプの光学部品について説明します。角度、平面度、真直度、直角度などを測定するための他の光学構成もあります。しかし本質的には、これらはすべて測定パラメーターの変化を位置の変化に変換します。したがって、基本的な動作原理は同じです。Excel PrecisionやZygoなどの他社の光学機器も同様です。
